DIN 50455-2-1999 半导体技术用材料的试验.表征光敏抗蚀剂的方法.第2部分:阳极光敏抗蚀剂的光敏度的测定
作者:标准资料网 时间:2024-05-21 05:47:28 浏览:9262
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【英文标准名称】:Testingofmaterialsforsemiconductortechnology-Methodsforthecharacterisationphotoresists-Part2:Determinationofphotosensitivityofpositivephotoresists
【原文标准名称】:半导体技术用材料的试验.表征光敏抗蚀剂的方法.第2部分:阳极光敏抗蚀剂的光敏度的测定
【标准号】:DIN50455-2-1999
【标准状态】:现行
【国别】:德国
【发布日期】:1999-11
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:测量规程;清漆;半导体工艺;材料试验;测量;光蚀;定义;试验;特性;光学测量;材料;检验;测量技术;光敏材料;化合物;感光度
【英文主题词】:properties;photoresists;light-sensitizedmaterials;chemicals;opticalmeasurement;testing;measurement;sensitivitytolights;definition;determinationprocedures;varnishes;materials;materialstesting;mea
【摘要】:Themethodaccordingtothedocumentcoversthecharacterizationofphotoresistsbycomparisonofthedeterminedphotosensitivityofasingle-layerpositivephotoresistonsiliconwaferswithareferencephotoresist.
【中国标准分类号】:H80
【国际标准分类号】:29_045
【页数】:4P;A4
【正文语种】:德语
【原文标准名称】:半导体技术用材料的试验.表征光敏抗蚀剂的方法.第2部分:阳极光敏抗蚀剂的光敏度的测定
【标准号】:DIN50455-2-1999
【标准状态】:现行
【国别】:德国
【发布日期】:1999-11
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:测量规程;清漆;半导体工艺;材料试验;测量;光蚀;定义;试验;特性;光学测量;材料;检验;测量技术;光敏材料;化合物;感光度
【英文主题词】:properties;photoresists;light-sensitizedmaterials;chemicals;opticalmeasurement;testing;measurement;sensitivitytolights;definition;determinationprocedures;varnishes;materials;materialstesting;mea
【摘要】:Themethodaccordingtothedocumentcoversthecharacterizationofphotoresistsbycomparisonofthedeterminedphotosensitivityofasingle-layerpositivephotoresistonsiliconwaferswithareferencephotoresist.
【中国标准分类号】:H80
【国际标准分类号】:29_045
【页数】:4P;A4
【正文语种】:德语
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